能量色散型X荧光光谱仪岛津EDX-LE原理

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日本岛津EDX-LE

能量色散型X荧光光谱仪EDX原理

来自X射线管的特征X射线照射到样品上，样品中含有的元素受X射线激发后会发出特有能量的X射线荧光。用检测器检测X射线荧光，根据X射线荧光的能量进行定性(确定含有什么元素)，根据X射线荧光的强度进行定量(确定元素的含量)。

射样图

检测器直接测定的是元素X射线荧光的强度，而我们关心的是元素的含量。利用X射线荧光的强度与元素含量存在比例关系，我们通过测定已知含量的标准样品建立工作曲线(安装工程师设定)，再根据待测样品的X射线荧光的强度通过计算机自动换算为含量值。

含量值图