微机电系统（MEMS）简介 -1

【奈米产业的思维】

一、前言

　　在讨论「微机电系统」或「微系统技术」之前，要先提及这个新领域的观念创始者，或者是开山祖师，理察‧费曼（Richard P. Feynman）博士。我们或许从《别闹了! 费曼先生》一书中，熟悉他以量子电动力学之开拓性理论获得诺贝尔奖；在门禁森严的「曼哈坦」原子弹研究计画中，以破解密码锁为乐；在巴西森巴舞团里担任鼓手；在赌城中与职业赌徒研究输赢机率；被按摩院聘去绘裸体画等特立独行等事迹。但他在1959年美国物理学会年会的演讲，启迪了一个崭新的技术领域，却鲜为人知。

　　其实这场演讲的主题，恰巧与当时美国顷全力发展航太科技的时代背景完全格格不入，甚至背道而驰—又一次符合他科学顽童的个性—演讲主题为「窥究到底，空间还多得很！」（There is plenty of room at the bottom.）其中以大英百科全书全给写在一根针头上之例为开始，陆续揭示了超微电子显微镜、微小计算机、微小工厂、原子重组等缩小化或微小世界的理念。

   费曼博士他曾说搞清楚生化界许多问题的办法，便是直接用超细显微镜去看发生了什么事。因此到现在没发明这型显微镜之前，只能靠间接的实验与学理的发展，提供我们设计并制作微系统产品所需的知识。其实光是微米尺寸下，便已然有许多未解的困难，诸如:流体已经不是连续体(continuum)，所以Navier-Stoke方程式失效，材料性质如何测定？就如同制作出微马达的戴聿昌博士(Dr.Y.C.Tai)所说的：「每一个课题都能生产大量的博士学位！」

在欧美各国对于航太科技求快、求远的热情不再，探索宇宙尽头的诸项太空计画，相继因预算庞大而搁置或取消。科技上进展最耀眼的，是半导体工业自无有变璀璨，同时在其创造大量商品与产值之际，相关之制程技术，也使费曼40年前缩小25,000倍梦想的实现，露出一道光明曙光。

参考文献

1、【微机电概论】：译者黄淳权、高立图书有限公司、2000年版

2、【基础物理学】：译者曹培熙、张洁仪、晓园出版社、1991年版

3、【科学月刊】

4、【认识微机电】：杨龙杰着、沧海书局