通报

【PH异常通报】

科室：Photo

机台：PH13

型号：10.9CL

Layer：VIA

原因：NO VIA不良

时长：

1/28 停机 463min；

1/29停机 837min；

1/30停机＞960min（截止22点）

影响：

①PH Mov折损＞1.88K（0.63K/D）

②P4的持续供应Cell，确保Cell不IDLE，过程监控及AT段持续skip对应生产（预计1.5D）

③因产品投入问题，目前后端仅P4/11.45RF产出，其余为XPS产品，无法堆积起有效bank，Cell无法sorting，预计影响投入0.6K左右

后续影响

N10明日到达ITO层，目前后端设备暂无设备对应，需前段设备对应，影响佳能产品投入（F1）

还是没有方向吗

今天把cln厚的单元都清洁了，结果无效，旋转测试固定在显影之前，现在还在做split拆分。

下午我带队清洁，发现几个异常点，做首个lot无效，也有可能量太少，恶化测试后会增加lot验证，丁瑞也从淮北返回公司，晚上他会值班确认。

我看之前那几个方向，不太满足突然发生的条件

这次的胶和产品有特别的变化吗

没有，还在查

方向其实就是两个，1.找专家帮忙，帮我们锁定，CF经验，兄弟单位经验，专家们。2.放弃幻想设定科学验证方案，快速找出原因。

现在对产能的影响越来越大。所以晚上的验证不能自由发挥，要科学。

今天上午就在photo工序讨论了，下午停机也是验证这几个方向，刚刚还在沟通，过会看看split结果。