半导体材料的体单晶生长 2016-05-19 本文已影响47人 Klaas 体单晶生长方式 垂直生长 水平生长 硅/锗单晶生长 硅/锗的主要物理性质 直拉法 拉单晶工艺 润晶 缩颈 放肩 等径生长 收尾