20180316

2018-03-16  本文已影响11人  笑蚊子

3炉LPCVD SINx工艺,其中俞骁75片6寸165nm小批量;乔闯光学镀膜两炉;无锡晶圆张明B11注入6片5条件,客户送片收接,注意事项,工艺沟通。GSD注入加速桶后端束流线圈漏水。

明天注入机线圈拆除,光学镀膜腔室护板拆下喷砂维护,喷砂机更换灯泡。

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