残余应力的测试方法zz

通常的测试的是残余应力。测试时以及后续的分析都需要满足下面的条件：

X射线光斑覆盖多个晶粒；外加样品形变与晶格变化相一致；X射线照射的薄层处于平面应力状态，即沿样品表面法线方向的应力分量为零。

波长的选择：尽量选择长波长光源（例如Cr靶，Kα1=0.2289nm）进行测试。因为长波长光源透射深度较小，可尽量避免应力随样品表面深度方向发生的梯度变化。而在晶格应变一定的情况下，高角度衍射峰的位移更明显，测试结果也更准确。更为重要的是，样品的置位误差对高角度衍射峰的位置影响比低角度衍射峰小。

粗晶样品一般选择短波长。若研究的加工影响层很薄，则应该选择波长较长的X射线。

衍射峰的选择：尽量选择高角度（2Ɵ>90˚）多重性因子较高的衍射峰进行应力的测试。

测试时间：建议峰的强度在1000个点数以上。测试应力的误差跟测试时的半高宽和峰的强度都有关系。峰强越高，误差越小。

块体测试的测倾法及结果：测倾法是目前采用较多的测试应力的方法。跟其优点如下：不需要吸收矫正；可使用较低衍射角测试应力；可扩大ψ角的设置范围，提高测试的准确性。