【激光技术】超精密加工领域顶尖团队落地深圳华中科技大学研究院

    激光技术应用新方向——激光精密加工

从1960年第一台红宝石激光器诞生至今，激光技术几乎覆盖了生产生活的各个角落，从汽车制造、动力电池到手机制造、航空航天、医疗器械乃至国防军事等，几乎我们能想到的所有领域，都活跃着激光器的身影。对很多行业而言，激光技术更是一种不可或缺的支撑技术。众所周知，“中国制造 2025”的核心是智能制造，智能制造的核心之一是光电技术，而光电技术的核心之一正是激光器。因此，激光行业是驱动制造业发展的一大核心力量，其重要性不言而喻。其中，尤以激光精密加工为代表的技术在电子、半导体、通讯、光存储、微机械制造、生物、环境等行业进一步推广和使用将为传统加工方式创造前所未有的可能性。

  激光超精密加工领域顶尖力量——甘棕松教授团队

    华中科技大学甘棕松教授致力研究超衍射极限光学精密技术，重点研究激光微纳制造新技术的开发和及其在新一代信息技术中的应用。涉及领域包括三维纳米光刻技术的开发、三维半导体微纳器件的激光制造及其应用、光学大数据存储技术、激光3D微纳打印、高密度微纳电子器件的激光致冷技术、大型科学与工程装置中的大数据软件技术等。其研究成果在三维芯片制造、光子芯片、大数据存储、3D纳米打印、仿生学等领域具有较强的国际影响力，并受到国际学术界、产业界和大众媒体的多方关注。

    近五年来，甘棕松教授以第一作者在Nature Communication、Science Advances、Applied Physics Letters、Optics Express等国际权威期刊共发表学术论文10余篇，其中ESI高被引用论文1篇。合著书籍章节2章，专著1部。研究成果被Nature Nanotechnology、Nature Materials等世界顶级期刊专题评论，评论为“该方法使得（激光制造）的特征尺寸和分辨率突破了光的衍射极限”。    

    此外，其在超衍射极限激光三维制造技术领域所取得的成果展示了单光盘1 PB（1000TB = 1,000,000 GB）存储能力的技术飞跃，其相关研究成果被全球超过1000家新闻媒体报道和转载。2014-2016年主持澳大利亚科学及工业教育基金（SIEF）项目1项（共41.1万澳元），现主持和参与国家自然科学基金面上项目各1项。获得2014年澳大利亚维多利亚州Victoria fellowship称号，2017年湖北省楚天学子称号。

（第20届中国国际光电博览会（GOIE）及2018全球光电子大会（OGC）上甘棕松教授发布纳米光刻技术）

落地深圳——助力光电领域企业腾飞

甘棕松教授团队于今年3月在深圳华中科技大学研究院成立激光超精密制造技术实验室，旨在依托研究院平台落地深圳为光学制造研究新原理和开发新技术，重点面向光学制造技术中的共性关键问题，探索面向产业化应用的解决方法。在其科研团队已经取得的双光束超衍射极限精密技术系列成果的基础上，将双光束超衍射极限精密技术应用于芯片制造技术，研发双光束超衍射极限纳米光刻技术原理样机，利用该技术实现三维芯片制造并为其提供光学制冷技术途径。

    实验室将引入甘棕松教授团队自主研发的国际首台商用化的双光束超衍射极限激光直写光刻系统和国内首台商用化的基于荧光闪烁的超分辨显微镜，这两套设备填补了国内在光学超精密制造和超精密检测领域的空白。

    科研团队将通过与触控屏，光通信等相关企业合作，实现激光超精密制造技术在触控屏、引线键合、光芯片、3D微纳米打印等领域的产学研转化。

（Super Lithography 3D 纳米光刻系统）

（Super Lithography 3D 纳米光刻系统感光材料）

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