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Physical Cell 介绍——Boundary Cell

2022-06-21  本文已影响0人  飞奔的大虎

1,什么是boundary cell?

boundary cell也叫做endcap cell, 一般会放置在floorplan的四周,ROW的边界。

2,为什么需要insert boundary cell?

在芯片制造的过程中,最边界的standard cell最容易受到损伤,为减少standard cell的制造过程中的损伤,需要在边界放置boundary cell,boundary cell有dummy poly gate,当制造过程中的损伤发生在边界时,boundary cell的损伤不会影响正常standard cell的功能。

如果没有在边界放置boundary cell, 可能会对芯片的功能造成不可逆的损伤。

在well和implant 层之间不能有gap,否则会有drc,boundary cell保证了well和implant 层之间没有gap。

boundary cell的poly extension保证了standard cell的source/drain不会出现在边界。

boundary cell放置在row的边界同时保证了边界的well tie的需求。

3,boundary cell的layout是什么样的?

boundary cell没有logic pin,只有VDD/GND的连接;

boundary cell在最左或者右侧扩展NWELL来减小well proximity effects (WPE 见5)。

boundary cell有dummy poly用于保护standard cell 的gate。

boundary cell的poly layer会被切断 (Poly Cut layer)

4,如何在floor plan阶段insert boundary cell?

FC/ICC2 cmd:

>set_boundary_cell_rules \        -top_boundary_cells        "BOUNDARYPROW*   \        -bottom_boundary_cells "BOUNDARYPROW*   \        -left_boundary_cell "BOUNDARYLEFT*"   \        -right_boundary_cell    "BOUNDARYRIGHT*"   \       -top_right_outside_corner_cell   "BOUNDARYPCORNE*"  \       -bottom_right_outside_corner_cell  "BOUNDARYPCORNER*"   \       -top_left_outside_corner_cell   "BOUNDARYPCORNER*"   \       -bottom_left_outside_corner_cell   "BOUNDARYPCORNER*"   \        -top_right_inside_corner_cells "BOUNDARYPINCORNER*"  \        -bottom_right_inside_corner_cells "BOUNDARYPINCORNER*"   \        -top_left_inside_corner_cells  "BOUNDARYPINCORNER*  \        -bottom_left_inside_corner_cells   "BOUNDARYPINCORNER*"   \       -top_left_inside_horizontal_abutment_cells "BOUNDARYPROWLGAP*"  \       -bottom_left_inside_horizontal_abutment_cells    "BOUNDARYPROWLGAP*" \       -top_right_inside_horizontal_abutment_cells        "BOUNDARYPROWRGAP*" \       -bottom_right_inside_horizontal_abutment_cells  "BOUNDARYPROWRGAP*"\       -mirror_left_inside_corner_cell \       -mirror_left_outside_corner_cell \       -segment_parity {horizontal_odd vertical_even} \       -min_vertical_jog 0.042 \       -min_horizontal_jog 0.612 \       -min_vertical_jog 0.042 \       -min_horizontal_jog 0.612 \       -min_vertical_separation 0.21 \       -min_horizontal_separation 2.397>compile_boundary_cells

>check_boundary_cell

Innovus cmd:>setEndCapMode -reset>setEndCapMode \

-rightEdge        BOUNDARYLEFT* \                                                                                                     -leftEdge         BOUNDARYRIGHT*\                                                                                                     -leftTopCorner    BOUNDARYPCORNER*\                                                                                         -leftBottomCorner BOUNDARYPCORNER* \                                                                                        -rightTopCorner    BOUNDARYPCORNER*\                                                                                           -rightBottomCorner BOUNDARYPCORNER* \                                                                            -topEdge {BOUNDARYPROW8* BOUNDARYPROW4*BOUNDARYPROW2* BOUNDARYPROW1*}  -bottomEdge {BOUNDARYPROW8* BOUNDARYPROW4* BOUNDARYPROW2*  BOUNDARYPROW1*}               -rightTopEdge     BOUNDARYPINCORNER* \                                                                                       -rightBottomEdge  BOUNDARYPINCORNER* \                                                                                   -leftTopEdge     BOUNDARYPINCORNER* \                                                                                       -leftBottomEdge  BOUNDARYPINCORNER* \                                                                                      -rightTopEdgeNeighbor    BOUNDARYPROWRGAP*\                                                                          -rightBottomEdgeNeighbor BOUNDARYPROWRGAP*\                                                                       -leftTopEdgeNeighbor    BOUNDARYPROWLGAP*\                                                                            -leftBottomEdgeNeighbor BOUNDARYPROWLGAP*\                                                             >addEndCap  >verifyEndCap -report   endcap.rpt

5, 什么是阱临近效应(WPE: Well Proximity Effect)

WPE会影响芯片的性能和良率。

在芯片制造的过程中,会出现各种制造的二级效应,靠近阱边界的晶体管和非边界的晶体管的性能相比有很大的不同,这会造成晶体管速度有+/-10%的差异。

离子注入阱的过程中,在阱边界(光刻胶)会造成注入离子的反射散射,位于阱边界的晶体管有不同的离子注入情况,这会造成该晶体管不同的性能表现。

原文链接:https://www.icode9.com/content-4-1336966.html

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